答：1，合肥光刻机厂在合肥芯硕半导体有限公司。

2，合肥芯硕半导体有限公司成立与2006年4月，是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的ATD4000，已经实现最高200nm的量产。