精密测量三次元是指通过三维取点来进行测量的一种仪器，市场上也有叫三坐标，三坐标测量机，三维坐标测量仪，三次元。
三次元测量仪的主要原理是将被测物体置于三次元测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸，形状和位置。
三次元测量仪的基本原理是通过探测传感器与测量空间轴线运动的配合，对被测几何元素进行离散的空间点位置的获取，然后通过一定的数学计算，完成对所测得点的分析拟合，最终还原出被测的几何元素，并在此基础上计算其与理论值之间的偏差，从而完成对被测零件的检验工作。
注意事项：
1.在观测中，不允许为通过限差规定而凑数，以免成果失去真实性；
2.记录员除了记录和计算外，还必须检查观测条件是否合乎规定，限差是否满足要求，否则应及时通知观测员重测；
3.扶尺员在观测之前必须将标尺立直扶稳，严禁双手脱开标尺，以防摔坏标尺的事故发生；
4.量距要保证通视，前、后视距相等，并尽量使仪器和前后标尺在一直线上。
测量步骤：
1.将仪器水平放置；
2.望远镜对准后视水准标尺，转动倾斜螺旋使符合水准气泡两端影像分离不得大于3毫米，用上、下视距丝平分水准标尺的相应基本分划读取视距；
3.转动倾斜螺旋使气泡影像精密符合，并转动测微螺旋使楔形丝照准基本分划；
4.旋转望远镜照准前视水准尺，使气泡精密居中，用楔形丝照准基本分划并读数；
5.用楔形丝对准辅助分划进行读数；
6.转向后视标尺，转动倾斜螺旋使气泡影像精密符合，进行辅助分划的读数。
深沉、高深、深邃、深奥、深厚、细密、精密、缜密、严密、慎密。