两者区别在于前者是对物质的转移，属于物理过程；后者是对物质的生成，属于化学过程。
物理气相沉积法可以看作物理过程，实现物质的转移，最终沉积到靶材上面。
化学气相沉积法是在一定条件下通过化学反应，形成所需物质沉积在靶材或者基材表面。
泡室的原理和膨胀云室有些类似，可以看成是膨胀云室的逆过程，但却更为简便快捷。
它兼有云室和乳胶的优点。
它和云室都可以按人们的意志在特定的时间间隔里靠特定的方法，以带电粒子为核心使气体凝结为液体，或者使液体蒸发形成气泡，从而留下粒子的径迹。
它和乳胶相同的地方在于工作物质本身即可当作靶子。
气泡室的优点更多，它的 空间和时间分辨率高，工作循环周期短，本底干净、径迹清晰，可反复操作。
但也有不足之处，那就是扫描和测量时间还嫌太长，体积有限，而且甚为昂贵，不适应现代粒子能量越来越高、作用截面越来越小的要求。
物理水流星道具制作方法如下：一、制作准备：彩旗布、2厘米宽松紧带、废纸、胶布、缝纫机。
二、制作规格：
1.幼儿：球体直径6至7厘米、球体质量20至30克、尾带长度60厘米；
2.小学：球体直径7至8厘米、球体质量30至50克、尾带长度70厘米；
3.中学：球体直径8至10厘米、球体质量50至70克、尾带长度80厘米。
二、流星球由球体和尾带组成，制作程序：
1.球体制作方法：球体用纸球做成，如用旧报纸揉、裹成圆团，外面包上胶布即可，也可用布包裹而成；