电子束和离子束分别可用于微纳加工工艺的种类如下：
1.电子束和离子束加工的发展趋势及应用聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。
2.聚焦的离子束可用来分析样品化学成分、进行生物研究以及制造保持血管畅通的心脏固定膜等微型医学植入材料。
3.利用不同形状的离子束，发射一次离子束可以生产几千个心脏内膜，大大提高了效率，离子束刻蚀离子束刻蚀以离子束为刻饰手段达到刻饰目的的技术。
电子束：电子经过汇集成束。
具有高能量密度。
它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压加速电场作用下被加速至很高的速度，经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。
离子源用以获得离子束的装置。
在各类离子源中，用得最多的是等离子体离子源，即用电场将离子从一团等离子体中引出来。
这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度和引出系统的质量决定。
属于这类离子源的有：潘宁放电型离子源射频离子源、双等离子体源、富立曼离子源等。
另一类使用较多的离子源是电子碰撞型离子源，主要用于各种质谱仪器中。
1.电子束焊接的能量密度高 ,可焊接一般电弧焊难以实现的焊缝;
2.电子束焊接是在真空中进行，焊缝的化学成分稳定且纯净 ,接头强度高 ,焊缝质量高;
3.电子束焊接速度快，热影响区小，焊接热变形小;
4.电子束焊接适用于焊接几乎所有的金属材料，尤其适合铝材焊接;
5.电子束焊接可获得深宽比大的焊缝，焊接厚件时可以不开坡口一次成形;