氮化硅存在有3种结晶结构，分别是α、β和γ三相。
α和β两相是Si3N4最常出现的型式，且可以在常压下制备。
γ相只有在高压及高温下，才能合成得到，它的硬度可达到35GPa。
氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料。
它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损，为原子晶体；高温时抗氧化。
而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。
正是由于氮化硅陶瓷具有如此优异的特性，人们常常利用它来制造轴承、气轮机叶片、机械密封环、永久性模具等机械构件。
氮化硅的性质：一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损；除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，抗腐蚀能力强，高温时抗氧化。
而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000 摄氏度以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。
相对分子质量140.28。
六方晶系。
晶体呈六面体。
密度
3.44。
硬度9至
9.5，努氏硬度约为2200，显微硬度为32630兆帕。
熔点1900摄氏度。
通常在常压下1900摄氏度分解，不溶于水。
溶于氢氟酸。
性状：有二氮化二钛和四氮化三钛两种。
二氮化二钛为黄色固体。
溶于煮沸的王水。
遇到热的氢氧化钠溶液则有氨放出。
四氮化三钛的性质与二氮化二钛相似。
制备或来源：可由钛和氮在1200度直接反应制得。
涂层可由四氯化钛、氮气、氢气混合气体通过气相沉积法形成。
二氮化二钛由金属钛在900到1000度的氮或氨中加热而得。
四氮三钛由四氯化钛在1000度的氨中加热而得。
用途：由于氮化钛具有高熔点、高硬度、高温化学稳定性及优良的导热、导电性能，适用于耐高温、耐磨损领域。
手饰工业上用氮化钛作金色涂料，主要用于涂表壳。